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製品信息
Excimer照射設備

由於填充的氣體而据有固有波長的Excimer燈使低溫處理的卓越方法成為現實.
1. 表面清洗/改質設備

Excimer照射系統運用能量非常高的短波紫外線高效地進行製造材料的精密清洗和改質, 並擁有瞬間開燈, 單一光的低溫處理等特長.

 
徽章式Excimer設備


: Excimer燈×8灯
尺寸 :  
用途 : 照射區域 500mm×400mm

 
生產線上的Excimer照射設備


: Excimer燈×1灯
尺寸 :  
用途 : 玻璃基板端子清洗

 
自動返回式Excimer設備


: Excimer燈×10灯
尺寸 :  
用途 :  

 
返回式Excimer照射設備


: Excimer燈×3灯
尺寸 :  
用途 : ウェハー表面清洗
 
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