☆　装置概要 　　　本装置は、２段積みのカセットより 　　　　ワークを取出し、UV硬化型ダイシングへの 　　　　紫外線照射を目的としたものです。 　　　　高圧水銀ランプを標準装備し、ワークを 　　　　移動させながら、均一に照射を行う方式を 　　　　採用しています。 　　　　この装置は、より精度よくダイシングフィルム 　　　　の性能を発揮できる装置となっており、照射 　　　　後同じカセットへ収納します。 　　　　又、カセットを交換することにより、６インチ、 　　　　８インチまで対応でき２段積みの採用により 　　　　、効率よくより多くワーク処理できます。
基本仕様 概略寸法 1500mm（幅）x1200mm（奥行き）x1580mm（高さ） 使用環境 温度：0〜35℃　　湿度：85%以下　非結露 対象ウェーハー ６インチ　・　８インチ 灯数 １灯用 照射距離 160　〜　300mm 反射板 コールドミラー集光型 照射器取付 方向 上面照射　　下部取付 適合ランプ 高圧水銀ランプ　3KW　x　１灯 　80W/c�u　発光長：375mm ランプ冷却必要 排気風量 3.0�u/min/１灯当たり 総排気量3.0m3/min　（90mmaq）