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ＵＶ照射装置
（水銀灯・メタルハライドランプ）
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プロセス／照射方式
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オートリターン式UV装置（硬化）
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ランプ
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4.5kw×1灯
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寸法
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用途
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8インチ、12インチ対応 ウェハーテープ剥離
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