☆ バッチ式エキシマ光照射装置
＊ 装置概要
本装置は、エキシマランプを4灯内蔵し、上から紫外線 （172nm）を
照射することにより紫外線エネルギーとO3による ドライ洗浄、改質を
行う装置です。基板表面を洗浄、改質し、表面の濡れ性、密着強度を
向上させます。
※特 長
| １） | ワークを1枚ごとに照射する装置です。 |
| ２） | ワークは、前工程のロボットアームにてエキシマ装置炉に供給されます。 |
| ３） | 供給されたワークをピンで受け、照射位置までリストアップします。 |
| ４） | セッチングされたワーク面に、一定時間エキシマ光を照射します。 |
| ５） | タイマーの設定により、照射時間の設定が可能です。 |
※仕 様
| 装置寸法 | W: 760 x D:710 x H:1900mm |
| ランプ | エキシマランプ ｘ 4灯 |
| ランプハウス | 照射窓開口 ： 230 ｘ 230ｍｍ |
| 照射距離 | 可変 1.0〜3.0mmデジタル表示にて照射距離を確認できます。照射距離調整ボルトにて上下させます。 |
| 外 装 | SUS304,及びアルミ |
| 冷却方法 | 水冷 |
| 点灯電源 | 入力：AC100V±10V、700VA（50/60Hz) |
※ ユーティリティ
| 使用電源 | エキシマ部 ：1相 100V 10A ULPA 部 ：1相 200V 0.5A |
| 冷却水 | 圧力：0.3Mpa未満 流量：2.0〜3.0L/min 上水道水程度 接続口 PT 3/8（入、出口） |
| 窒 素 | 純度： 99.99％以上 圧力： 0.15〜0.6Mpa未満 流量： 40〜50NL/min 接続口 PT 3/8（入口） |
| エアー（駆動用） | 圧力： 0.4〜0.5Mpa 流量： 2.0 NL/min 接続口 Φ8ワンタッチ式 |
| 排 気 | オゾン発生量：約40mg/min 排気量：1.5〜3.0m3/min ※ 排気ブロアは、含まれておりません。排気口 Φ73 |