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エキシマ照射装置
充填ガスにより固有の発光波長を持つエキシマランプは、特に低温処理に優れたプロセスを実現します。
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１．表面洗浄／改質装置
「エキシマ照射システム」は、非常にエネルギーの高い短波長紫外線を用いて高効率に製造材料の精密洗浄、改質を行うものであり、さらに瞬時点灯、単一光ゆえの低温処理などの特長を持っています。
バッチ式エキシマ装置
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ランプ
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エキシマランプ×8灯
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寸法
：
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用途
：
照射エリア 500mm×400mm
インライン エキシマ照射装置
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ランプ
：
エキシマランプ×1灯
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寸法
：
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用途
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ガラス基板端子部 洗浄
オートリターン式エキシマ装置
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ランプ
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エキシマランプ×10灯
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寸法
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用途
：
リターン式エキシマ照射装置
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ランプ
：
エキシマランプ×3灯
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寸法
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用途
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ウェハー表面 洗浄
バッチ式エキシマ光照射装置
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ランプ
：
エキシマランプ×4灯
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寸法
：
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用途
：
基板表面 洗浄
セミオート・バッチ式エキシマ光照射装置
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ランプ
：
エキシマランプ×4灯
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寸法
：
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用途
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基板表面 洗浄
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