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■大気圧プラズマ照射装置
「大気圧プラズマ」は、真空を特に必要としない常圧プロセスであり低温連続処理が可能なため、常圧・高速処理なので高スループットが期待できます。また。リモート型ソースにより、ワークへのダメージがほとんどなく効率の良い、精密洗浄、改質が可能です。
コストの高い希ガス（He.Arガス）を使用せず、N2.O2等をを使用するため低コストのシステムです。
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COG(TAB)用 大気圧PLASUMA表面洗浄/改質装置
| ●ランプ |
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照射幅 50mmヘッド（標準仕様） |
| ●寸法 |
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(L D） W：1750mm D：1950mm H：1370mm
(WPL） W：2705mm D：1220mm H：1370mm |
| ●用途 |
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インライン 大気圧プラズマ装置
| ●ランプ |
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50mmリモート・ヘッド |
| ●寸法 |
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| ●用途 |
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ガラス基板端子部 洗浄 |
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ダイレクト式プラズマコンベア装置
| ●ランプ |
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300mmダイレクト・ヘッド |
| ●寸法 |
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| ●用途 |
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ガラス表面 洗浄 |
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拭取り+大気圧式プラズマ装置
| ●ランプ |
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50mmリモート・ヘッド |
| ●寸法 |
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| ●用途 |
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ガラス基板端子部 洗浄 |
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