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UVやプラズマによる洗浄/改質はいずれも照射による有機化合物の化学結合解裂の進行を制御する技術で実現します。マルチプライでは三つの異なるプロセスで、お客様にベストソリューションを提供します。
●(1)低圧水銀ランププロセス(UV/O3)
波長185nm,254nmの光線により生成するオゾンと活性酸素で処理します。
●(2)エキシマランププロセス
波長172nmの光線により生成するオゾンと活性酸素で処理します。
●(3)大気圧プラズマプロセス
プラズマのエネルギーで生成する荷電粒子を含む気体と活性酸素で処理します。
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■洗浄/改質プロセス製品
▼UV照射装置(水銀灯・メタルハライドランプ)
−UV応用/関連製品−
▼エキシマ照射装置
▼大気圧プラズマ照射装置 |
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